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水洗電熱水洗式廢氣處理機

  • 料號:S005

商品詳細介紹Product Introduction

最新款電熱水洗式廢氣處理機為高端半導體制程廢氣的處理系統,有高溫電熱式腔體,將制程所產生的廢氣,利用特殊設計的一個反應室,反應成粉末或是反應成溶解于水中的物質,再經過后段之完全有效處理才排放至廠務中央處理系統,所用之材料符合FM防火認證,并支援isys節能環保功能。所能處理的制程廢氣,包含高端半導體廠、 TFT-LCD 廠、LED廠、太陽能廠 …等所使用的特殊氣體。

商品特色

◆工研院SEMI S2之相關安全認證
◆作業溫度850度,有效處理廢氣
◆獨立的Inlet和Outlet壓力表頭
◆使用Inlet加熱棒的加熱裝置
◆搭載空氣與氮氣的預熱裝置
◆簡易的預防性維修

商品規格

產品規格:
1.設有兩個廢氣處理入口端
2.外觀尺寸( 公厘 )- 900( 深 )*1000( 寬 )*1950( 高 )
3.機臺重量:450 公斤
4.最高處理量可到達800 slm
選購配備:
出口端鼓風機
遠端監控系統
自動切換系統
加熱槍及加熱帶
水質酸堿測量供應系統

商品注意事項Product Notes

聯絡人:陳志欣
聯絡電話:03-5511899#271、0972109900
聯絡信箱:[email protected]
 

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